（以下简称《报告》）。报告对中国半导体检测仪器市场做出全面梳理和深入分析，是智研咨询多年连续追踪、实地走访、调研和分析成果的呈现。
为确保半导体检测仪器行业数据精准性以及内容的可参考价值，智研咨询研究团队通过上市公司年报、厂家调研、经销商座谈、专家验证等多渠道开展数据采集工作，并对数据进行度分析，以求深度剖析行业各个领域，使从业者能够从多种维度、多个侧面综合了解2022年半导体检测仪器行业的发展态势，以及创新前沿热点，进而赋能半导体检测仪器从业者抢跑转型赛道。
通常半导体前道检测和测量设备会放在一起进行讨论，本文“半导体检测仪器”主要指代“半导体检测与量测设备”。
检测在集成电路的硅片、生产制造和封测领域均有广泛的应用，具体来看硅片环节的颗粒、划痕检测等；生产制造过程中的缺陷检测&复查等；封测环节的残留、沾污等等。半导体行业从工艺制程上来分，分为前道（晶圆生产），中道（晶圆制造），后道（晶圆封装测试）。检测设备贯穿其中，前道和后道的较少，中道检测较多。
用于前道制程和先进封装的质量控制包括量测和检测两个环节。量测涉及对晶圆上的电路结构和材料特性的尺寸和特性进行量化描述，例如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理参数。而检测则在晶圆表面或电路结构中检查是否存在异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等具有不良工艺性能的特征性结构缺陷。
半导体设备种类繁多，涵盖广泛的技术领域，需要长期的研究和开发投入来实现技术突破。半导体设备的先进性直接影响下游客户的产品质量和生产效率，因此在大规模生产之前，必须进行严格的测试和客户验证，设备的验证过程十分困难。此外，为了满足下游客户工艺提升的需求，半导体设备的技术更新和产品迭代速度必须与客户的要求保持一致甚至超越客户的要求。
由于半导体产业的蓬勃发展和政策的积极支持，许多国内领先的半导体制造企业进入了产能扩张期，半导体检测设备市场规模迅速增长。终端市场，如5G通信、汽车电子、工业电子、人工智能、云计算和各种消费电子产品的需求迅速增长，进一步加剧了行业内的“芯片短缺”问题。国际大公司台积电、英特尔、格罗方德、三星和中芯国际等都加大了资本开支，中国的半导体检测设备市场进入了高速发展期。根据统计，2021年中国半导体检测和量测设备市场规模达到198.35亿元，同比增幅超10%。2022年特殊时期因全年集成电路产量下滑，国内半导体检测和量测设备市场增速有所放缓。
目前，中国半导体检测与量测设备市场中，设备的国产化率较低，市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位，其中科磊半导体在中国市场的占比最高，领先于所有国内外检测和量测设备公司。其他重点企业包括应用材料、日立等。中国半导体检测和量测市场前三大企业合计超过70%，呈现高度垄断的市场竞争格局。
量/检测设备是前道国产化率最低的环节之一，2022年国产化率仍不足10%。从整体上看，国内半导体设备企业技术与国外公司差距较大、且在多处核心环节上短期突破的难度较大，但我国半导体产业发展快速，国家大基金也在不断投入相关企业进行布局，进口替代势在必行。国内企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局，在相当细分领域已取得较大进展，具体到检测设备环节，国内重点布局企业有赛腾股份、上海睿励/中微公司、中科飞测等。
展望未来，受益于国内半导体产业的蓬勃发展和政策大力扶持，叠加中美贸易摩擦背景下半导体产业链的完整性和安全性的重视程度提升，半导体设备国产化替代进入重要机遇期，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期。在此背景下，国内半导体检测设备市场规模有望快速增长，未来市占率有望不断突破。
近年来，国际贸易中部分国家针对半导体设备领域颁布了一系列对中国的出口管制政策。随着全球主要经济体增速持续放缓，贸易保护主义及国际经贸摩擦的风险仍将存在，不能排除国际贸易政策未来变化会对国内企业采购进口半导体检测和量测设备带来一定的限制和不利影响，从而危及我国半导体产业链完整、持续、稳定的发展。与此同时，国际贸易政策变化的不确定性和本土企业自身技术水平的提升为本土企业国产化进程的推进创造了有利条件。
一方面，国际贸易政策变化的不确定性对我国半导体行业健康发展带来风险。为了降低出口管制带来的风险和保障我国半导体产业链安全，提高半导体检测和量测国产化率成为当前的迫切需求，未来国产化领域和成长空间巨大。
另一方面，随着技术水平的不断提升，本土企业与国际竞争对手之间的差距正在不断缩小，国产检测和量测设备日益获得集成电路行业下游客户的广泛认可，未来市场规模和占有率将进一步提升。目前，中国半导体检测和量测设备行业高速发展，根据统计，2015年至 2022年中国半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增速显著高于全球半导体设备和检测和量测设备市场增速。随着我国半导体产业产能扩张仍在继续，本土企业将受益于中国半导体行业的整体发展。
总而言之，随着国内对芯片自主化的要求日益迫切以及研发资金的增加，中国本土的半导体量测和检测行业正在迅速壮大，并有望开拓更多的潜在机会和前景。
《2023-2029年中国半导体检测仪器行业投资潜力研究及发展趋势预测报告》是智研咨询重要成果，是智研咨询引领行业变革、寄情行业、践行使命的有力体现，更是半导体检测仪器领域从业者把脉行业不可或缺的重要工具。智研咨询已经形成一套完整、立体的智库体系，多年来服务政府、企业、金融机构等，提供科技、咨询、教育、生态、资本等服务。
1：本报告核心数据更新至2022年12月，以中国地区数据为主，少量涉及全球及相关地区数据；预测区间涵盖2023-2029年，数据内容涉及半导体检测仪器行业产值、销售收入、市场规模等。
2：除一手调研信息和数据外，国家统计局、中国海关、行业协会、上市公司公开报告（招股说明书、转让说明书、年报、问询报告等）等权威数据源亦共同构成本报告的数据来源。1）一手资料来源于研究团队对行业内重点企业访谈获取的一手信息数据，主要采访对象有企业高管、行业专家、技术负责人、下游客户、分销商、代理商、经销商以及上游原料供应商等；2）二手资料来源主要包括全球范围相关行业新闻、公司年报、非盈利性组织、行业协会、政府机构及第三方数据库等。
3：报告核心数据基于公司严格的数据采集、筛选、加工、分析体系以及自主测算模型，确保统计数据的准确可靠。
4：本报告所采用的数据均来自合规渠道，分析逻辑基于智研团队的专业理解，清晰准确地反映了分析师的研究观点。
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